中企升级ASML光刻机性能提升AI芯片产能

中企通过升级阿斯麦旧光刻机提高芯片产量知情人士称，生产先进智能手机和人AI芯片的中国企业已经提高了荷兰公司阿斯麦生产的先进深紫外光刻机的性能。中国晶圆厂已经在二级市场获得相关组件。这包括升级版“stage”以及帮助芯片层以更高精度对齐的镜头和传感器。用这些组件对阿斯麦DUV光刻机进行改进，使中国晶圆厂能够提振其AI芯片的生产。据悉，本土晶圆厂从海外采购组件，然后运回中国。第三方公司提供现场工程指导，以升级现有的DUV光刻机。中国晶圆厂使用诸如多次DUV曝光来生产先进制程芯片。但该方法需更长的机器运行时间，增加了生产成本并降低了良率。据称，晶圆厂已得以通过组件升级缓解部分不利影响。—— 英国金融时报（全文截图）

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